一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410110316.X
申请日
2024-01-25
公开(公告)号
CN117964403A
公开(公告)日
2024-05-03
发明(设计)人
严寿亮 徐所成 王明华 张振远 袁志杰 周杰 胡堂正 冯志强
申请人
杭州乾晶半导体有限公司
申请人地址
311200 浙江省杭州市萧山区建设三路733号信息港五期一号楼205-2
IPC主分类号
C04B41/89
IPC分类号
C30B23/00 C30B29/36
代理机构
杭州五洲普华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33260
代理人
姚宇吉
法律状态
著录事项变更
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180A ,2024-07-05
[2]
碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P]. 
杨伟锋 ;
靳彩霞 ;
朱佰喜 ;
谢柳兵 ;
王然然 .
中国专利 :CN118290180B ,2024-08-30
[3]
一种碳化钽涂层石墨部件的制备方法 [P]. 
胡任浩 ;
何少龙 ;
朱世相 ;
李翔翔 ;
丁柳宁 .
中国专利 :CN119506828A ,2025-02-25
[4]
含碳化钽涂层的石墨件的制备方法 [P]. 
林宇 ;
陈爱盛 ;
肖绍铸 ;
何少龙 .
中国专利 :CN119462207A ,2025-02-18
[5]
在石墨基材表面制备碳化钽涂层的方法及石墨器件 [P]. 
宋新风 ;
王世杰 .
中国专利 :CN113549895A ,2021-10-26
[6]
一种碳化钽涂层的制备方法 [P]. 
彭志刚 ;
苑涛 ;
林巍 ;
张涛 .
中国专利 :CN117843370A ,2024-04-09
[7]
一种碳化钽涂层制品及制备方法 [P]. 
彭志刚 ;
苑涛 ;
林巍 ;
丁洁 .
中国专利 :CN115584486B ,2025-02-11
[8]
碳化钽涂层的石墨基座及其制备方法 [P]. 
陈中武 ;
李加飞 ;
何怡 ;
冯加民 .
中国专利 :CN120943671A ,2025-11-14
[9]
一种碳化钽涂层制品及制备方法 [P]. 
彭志刚 ;
苑涛 ;
林巍 ;
丁洁 .
中国专利 :CN115584486A ,2023-01-10
[10]
石墨部件表面碳化钽膜层的制备装置、方法及石墨部件 [P]. 
陈建明 ;
赵文超 ;
刘显华 ;
范子龙 ;
张江涛 .
中国专利 :CN118652135B ,2024-12-31