石墨部件表面碳化钽膜层的制备装置、方法及石墨部件

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411132799.X

申请日：

2024-08-19

公开(公告)号：

CN118652135B

公开(公告)日：

2024-12-31

发明(设计)人：

陈建明赵文超刘显华范子龙张江涛

申请人：

苏州优晶半导体科技股份有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市开发区杜鹃路555号A6#厂房

IPC主分类号：

C04B41/87

IPC分类号：

C30B25/00 C30B29/36

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

夏舒晨

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-31	授权	授权
2024-09-17	公开	公开
2024-10-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 41/87申请日:20240819

共 50 条

[1]

石墨部件表面碳化钽膜层的制备装置、方法及石墨部件 [P].

陈建明 ;

赵文超 ;

刘显华 ;

范子龙 ;

张江涛 .

中国专利 :CN118652135A ,2024-09-17

[2]

碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P].

杨伟锋 ;

靳彩霞 ;

朱佰喜 ;

谢柳兵 ;

王然然 .

中国专利 :CN118290180A ,2024-07-05

[3]

碳化钽涂层石墨部件及其制备方法 [P].

杨伟锋 ;

靳彩霞 ;

朱佰喜 ;

谢柳兵 ;

王然然 .

中国专利 :CN118290180B ,2024-08-30

[4]

一种碳化钽涂层石墨部件的制备方法 [P].

胡任浩 ;

何少龙 ;

朱世相 ;

李翔翔 ;

丁柳宁 .

中国专利 :CN119506828A ,2025-02-25

[5]

一种双层碳化钽涂层的制备方法及石墨部件 [P].

严寿亮 ;

徐所成 ;

王明华 ;

张振远 ;

袁志杰 ;

周杰 ;

胡堂正 ;

冯志强 .

中国专利 :CN117964403A ,2024-05-03

[6]

在石墨基材表面制备碳化钽涂层的方法及石墨器件 [P].

宋新风 ;

王世杰 .

中国专利 :CN113549895A ,2021-10-26

[7]

石墨坩埚及碳化钽坩埚的制备方法 [P].

孙嘉浩 ;

曾雄辉 ;

王悦 ;

周浩 ;

柯磊 ;

徐科 .

中国专利 :CN119983802A ,2025-05-13

[8]

一种石墨部件复合涂层的制备方法、石墨部件、石墨坩埚 [P].

张振远 ;

严寿亮 ;

袁志杰 ;

徐所成 ;

王明华 .

中国专利 :CN118184400A ,2024-06-14

[9]

碳化钽涂层的石墨基座及其制备方法 [P].

陈中武 ;

李加飞 ;

何怡 ;

冯加民 .

中国专利 :CN120943671A ,2025-11-14

[10]

含碳化钽涂层的石墨件的制备方法 [P].

林宇 ;

陈爱盛 ;

肖绍铸 ;

何少龙 .

中国专利 :CN119462207A ,2025-02-18

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