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一种石英晶片自动研磨、清洗及测厚系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411714559.0
申请日：
2024-11-27
公开(公告)号：
CN119489394A
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
李佳祺 吴昱江
申请人：
南京大学
申请人地址：
210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号南京大学仙林校区
IPC主分类号：
B24B37/04
IPC分类号：
B24B37/005 B24B37/013 B24B55/06 B24B49/02 F26B21/00
代理机构：
北京鑫瑞森知识产权代理有限公司 11961
代理人：
赵文斌
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 南京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-21 公开 公开
2025-03-11 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/04申请日:20241127
共 50 条
[1]
一种石英晶片研磨机在线自动测厚装置 [P]. 
戴茂慧 ;
江志强 ;
叶建华 .
中国专利 :CN209793435U ,2019-12-17
[2]
石英晶片研磨在线测频系统 [P]. 
郭彬 ;
潘凌锋 ;
陈浙泊 ;
陈一信 ;
林斌 .
中国专利 :CN105866540A ,2016-08-17
[3]
石英晶片研磨在线测频系统 [P]. 
郭彬 ;
潘凌锋 ;
陈浙泊 ;
陈一信 ;
林斌 .
中国专利 :CN205720430U ,2016-11-23
[4]
石英晶片抛光研磨在线测频系统 [P]. 
郭彬 ;
陈一信 ;
潘凌锋 ;
陈浙泊 ;
颜文俊 ;
林斌 .
中国专利 :CN210604779U ,2020-05-22
[5]
石英晶片抛光研磨在线测频系统 [P]. 
郭彬 ;
陈一信 ;
潘凌锋 ;
陈浙泊 ;
颜文俊 ;
林斌 .
中国专利 :CN110187175B ,2024-06-18
[6]
石英晶片抛光研磨在线测频系统 [P]. 
郭彬 ;
陈一信 ;
潘凌锋 ;
陈浙泊 ;
颜文俊 ;
林斌 .
中国专利 :CN110187175A ,2019-08-30
[7]
一种石英晶片研磨测频装置 [P]. 
李直荣 .
中国专利 :CN110076646A ,2019-08-02
[8]
一种石英晶片研磨测频装置 [P]. 
李直荣 .
中国专利 :CN210147686U ,2020-03-17
[9]
一种石英晶片研磨清洗机 [P]. 
郑嵩 .
中国专利 :CN210474812U ,2020-05-08
[10]
一种自动测厚设备及测厚系统 [P]. 
彭明明 ;
肖晨亮 ;
蔡立群 ;
杨晓森 .
中国专利 :CN222773970U ,2025-04-18
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