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有機修飾金属酸化物ナノ粒子、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有溶液、有機修飾金属酸化物ナノ粒子含有レジスト組成物及びレジストパターン形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20200207558
申请日：
2020-12-15
公开(公告)号：
JP7644923B2
公开(公告)日：
2025-03-13
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07C53/122
IPC分类号：
B82Y30/00
C01G25/02
C07C57/04
G03F7/004
G03F7/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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