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ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja]

被引：0
申请号：
JP20240107101
申请日：
2024-07-03
公开(公告)号：
JP7638428B2
公开(公告)日：
2025-03-03
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/36
IPC分类号：
G03F7/20 H01L21/027
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP7646929B2 ,2025-03-17
[2]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
SAMANTHA SIAMHWA TAN ;
YU JENGYI ;
LI DA ;
FAN YIWEN ;
PAN YANG ;
MARKS JEFFEREY ;
RICHARD A GOTTSCHO ;
DANIEL PETER ;
TIMOTHY WILLIAM WEIDMAN ;
BORIS VOLOSSKIY ;
YANG WENBING .
日本专利 :JP2024133561A ,2024-10-02
[3]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022538040A ,2022-08-31
[4]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025166041A ,2025-11-05
[5]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
SAMANTHA SIAMHWA TAN ;
YU JENGYI ;
LI DA ;
FAN YIWEN ;
PAN YANG ;
MARKS JEFFEREY ;
RICHARD A GOTTSCHO ;
DANIEL PETER ;
TIMOTHY WILLIAM WEIDMAN ;
BORIS VOLOSSKIY ;
YANG WENBING .
日本专利 :JP2025087800A ,2025-06-10
[6]
化学物質の水熱脱ハロゲン化[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025524048A ,2025-07-25
[7]
触媒急速熱分解プロセスによる化学物質および燃料ブレンドストック[ja] [P]. 
日本专利 :JP6708745B2 ,2020-06-10
[8]
触媒急速熱分解プロセスによる化学物質および燃料ブレンドストック[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019508541A ,2019-03-28
[9]
触媒急速熱分解プロセスによる化学物質および燃料ブレンドストック[ja] [P]. 
日本专利 :JP6920321B2 ,2021-08-18
[10]
触媒急速熱分解プロセスによる化学物質および燃料ブレンドストック[ja] [P]. 
日本专利 :JP2019508537A ,2019-03-28
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