用于金刚石晶体的抛光设备及其抛光方法

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专利类型
发明
申请号
CN202411933775.4
申请日
2024-12-26
公开(公告)号
CN119347620B
公开(公告)日
2025-03-11
发明(设计)人
顾正伟 晏善成 奚耀华 李骏杰
申请人
苏州中砥半导体材料有限公司 中砥半导体技术(江苏)有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市高新区珠江路900号5号楼101-1
IPC主分类号
B24B29/02
IPC分类号
B24B1/00 B24B9/06 B24B55/00 B24B55/02
代理机构
苏州市科汇新创专利代理有限公司 32777
代理人
庞翠
法律状态
公开
国省代码
江苏省 常州市
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共 50 条
[1]
用于金刚石晶体的抛光设备及其抛光方法 [P]. 
顾正伟 ;
晏善成 ;
奚耀华 ;
李骏杰 .
中国专利 :CN119347620A ,2025-01-24
[2]
一种金刚石抛光方法、金刚石及其抛光设备 [P]. 
邓辉 ;
李昕宇 ;
何铨鹏 ;
王银惠 ;
赵公魄 ;
丁雪苗 .
中国专利 :CN118952006A ,2024-11-15
[3]
用于片状金刚石晶体表面快速抛光的抛光盘及其抛光方法 [P]. 
徐昌 ;
王希玮 ;
王笃福 ;
曹振忠 .
中国专利 :CN112706087A ,2021-04-27
[4]
金刚石片状晶体抛光设备 [P]. 
王希玮 ;
王笃福 ;
徐昌 ;
王盛林 ;
曹振忠 .
中国专利 :CN112658924A ,2021-04-16
[5]
金刚石抛光方法和金刚石抛光系统 [P]. 
邬苏东 ;
欧正雄 ;
夏岳 ;
岳龙 ;
孔祥鹏 ;
潘鲁辉 .
中国专利 :CN120862088A ,2025-10-31
[6]
金刚石抛光夹具及抛光方法 [P]. 
马孟宇 ;
蔚翠 ;
何泽召 ;
刘庆彬 ;
周闯杰 ;
刘煜东 ;
冯志红 .
中国专利 :CN118927146A ,2024-11-12
[7]
芬顿试剂、抛光液、金刚石衬底的抛光方法以及金刚石抛光片 [P]. 
薛芳 ;
刘泳沣 ;
寇明虎 .
中国专利 :CN120290108A ,2025-07-11
[8]
用于金刚石及金刚石复合片的高效抛光设备 [P]. 
朱珠 .
中国专利 :CN208575689U ,2019-03-05
[9]
用于金刚石及金刚石复合片的高效抛光设备 [P]. 
朱珠 .
中国专利 :CN108466163A ,2018-08-31
[10]
用于金刚石及金刚石复合片的高效抛光设备 [P]. 
朱珠 .
中国专利 :CN108466163B ,2024-05-07