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基于数据融合的半导体设备故障预测与维护方法及系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510015788.1
申请日：
2025-01-06
公开(公告)号：
CN119398764B
公开(公告)日：
2025-03-14
发明(设计)人：
李树盛 叶思龙 许莹
申请人：
北京珂阳科技有限公司
申请人地址：
100176 北京市通州区经济技术开发区西环南路26号院30号楼（嘉捷科技园A座）6层-605
IPC主分类号：
G06Q10/20
IPC分类号：
G06F18/25 G06N3/0442 G06N3/08
代理机构：
北京星通盈泰知识产权代理有限公司 11952
代理人：
黄正奇
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省 宣城市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-02-07 公开 公开
2025-02-25 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G06Q 10/20申请日:20250106
2025-03-14 授权 授权
共 50 条
[1]
基于数据融合的半导体设备故障预测与维护方法及系统 [P]. 
李树盛 ;
叶思龙 ;
许莹 .
中国专利 :CN119398764A ,2025-02-07
[2]
基于物联网的设备故障预测及维护系统 [P]. 
盛华 ;
盛枝华 ;
倪振松 ;
余永健 .
中国专利 :CN120263674A ,2025-07-04
[3]
基于数据挖掘的电力设备故障预测与维护方法及装置 [P]. 
马良 ;
李德荣 ;
邵维廷 ;
郭宗云 ;
李晨娜 ;
杨扬 ;
吴新飞 ;
李浩 ;
丁孝谦 ;
郭丹丹 ;
何明丹 ;
田笑 ;
吴琪 ;
张霞 ;
路通 .
中国专利 :CN121188444A ,2025-12-23
[4]
半导体湿洗设备故障预测方法 [P]. 
陈建福 ;
姚佳奇 ;
黄冠霖 ;
郭宸辰 .
中国专利 :CN118940121A ,2024-11-12
[5]
腔门的预测性维护系统和预测性维护方法及半导体设备 [P]. 
杨平 .
中国专利 :CN120709189A ,2025-09-26
[6]
基于多源数据融合的机台故障维护方法及系统 [P]. 
姜国强 ;
刘磊 ;
骆耿 ;
倪文娟 .
中国专利 :CN121117951A ,2025-12-12
[7]
基于物联采集的多元设备数据融合故障预测方法及系统 [P]. 
张刚 ;
韩家辉 ;
匡柏权 .
中国专利 :CN120705825A ,2025-09-26
[8]
基于物联采集的多元设备数据融合故障预测方法及系统 [P]. 
张刚 ;
韩家辉 ;
匡柏权 .
中国专利 :CN120705825B ,2025-11-04
[9]
基于数据驱动的设备故障预测方法及系统 [P]. 
毛昭勇 ;
王文智 ;
罗钰 ;
谭震 .
中国专利 :CN118152901A ,2024-06-07
[10]
基于数据驱动的设备故障预测方法及系统 [P]. 
毛昭勇 ;
王文智 ;
罗钰 ;
谭震 .
中国专利 :CN118152901B ,2024-07-26
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