一种基于深度学习的光刻缺陷检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411636573.3

申请日：

2024-11-15

公开(公告)号：

CN119579534A

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

谷洪刚梁昊阳刘世元刘力

申请人：

华中科技大学湖北光谷实验室

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06T7/70 G06N3/0464 G06N3/08

代理机构：

武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267

代理人：

廖盈春

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-07	公开	公开
2025-07-29	授权	授权
2025-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20241115

共 50 条

[1]

一种基于深度学习的光刻缺陷检测方法及装置 [P].

谷洪刚 ;

梁昊阳 ;

刘世元 ;

刘力 .

中国专利 :CN119579534B ,2025-07-29

[2]

基于深度学习的铸件外观缺陷检测方法 [P].

刘冬 ;

丛明 ;

卢长奇 ;

肖庆阳 ;

方建儒 ;

葛春东 .

中国专利 :CN113096098A ,2021-07-09

[3]

基于深度学习的铸件外观缺陷检测方法 [P].

刘冬 ;

丛明 ;

卢长奇 ;

肖庆阳 ;

方建儒 ;

葛春东 .

中国专利 :CN113096098B ,2024-01-05

[4]

一种基于深度学习的带钢表面缺陷检测方法 [P].

夏亚金 ;

吴汉民 ;

张嵩涛 ;

何雨欣 ;

吴卫东 ;

王维 ;

朱安辉 ;

王蒙颜 ;

杨威 ;

杨俊 .

中国专利 :CN119048432A ,2024-11-29

[5]

一种基于深度学习的无监督缺陷检测方法及设备 [P].

陈星 ;

郑志敏 ;

万光继 .

中国专利 :CN119107287A ,2024-12-10

[6]

一种基于深度学习的缺陷检测方法及装置 [P].

吴雨培 ;

黄耀 ;

张辉 ;

郑慧伟 .

中国专利 :CN109389599A ,2019-02-26

[7]

一种基于深度学习的软管尾部外观缺陷检测方法 [P].

孙克强 ;

刘敏 ;

张义伟 ;

徐洋 ;

沈宝诚 ;

刘振洗 ;

金怀国 ;

薛晓东 .

中国专利 :CN119205709A ,2024-12-27

[8]

一种基于深度学习的铝膜缺陷检测方法及相关设备 [P].

杨海东 ;

王华龙 ;

吴均城 ;

李泽辉 .

中国专利 :CN115100149A ,2022-09-23

[9]

基于深度学习的端子缺陷检测方法及系统 [P].

张金波 ;

姚毅 .

中国专利 :CN111275700A ,2020-06-12

[10]

基于深度学习的缺陷检测方法、装置、设备和存储介质 [P].

刘飞 ;

林宜龙 ;

胡忠 ;

欧政义 ;

王能翔 .

中国专利 :CN114998192A ,2022-09-02

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