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一种低温下光学与射频耦合测量纳米谐振器振动的装置与方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011198028.2
申请日：
2020-10-30
公开(公告)号：
CN112161697B
公开(公告)日：
2025-03-07
发明(设计)人：
卢恒
莫泽
延英
陈风楠
申请人：
苏州大学
申请人地址：
215137 江苏省苏州市相城区济学路8号
IPC主分类号：
G01H9/00
IPC分类号：
G01H13/00
代理机构：
苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345
代理人：
王利斌
法律状态：
授权
国省代码：
黑龙江省
哈尔滨市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-07 | 授权 | 授权 |