一种晶圆翻转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420676341.X

申请日：

2024-04-03

公开(公告)号：

CN222619735U

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

左国军蔡嘉雄邱开宇孙伟

申请人：

创微微电子（常州）有限公司

申请人地址：

213000 江苏省常州市新北区黄河西路790号

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

代理机构：

常州市科佑新创专利代理有限公司 32672

代理人：

池学化

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆翻转装置 [P].

黄海荣 ;

谢柏弘 .

中国专利 :CN215625201U ,2022-01-25

[2]

一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备 [P].

刘涛 ;

彭博 ;

王荣祥 ;

李爽 ;

肖静 ;

宋宣颉 ;

赵琦 .

中国专利 :CN120565477B ,2025-10-10

[3]

一种晶圆翻转装置及晶圆翻转设备 [P].

刘涛 ;

彭博 ;

王荣祥 ;

李爽 ;

肖静 ;

宋宣颉 ;

赵琦 .

中国专利 :CN120565477A ,2025-08-29

[4]

一种晶圆翻转装置 [P].

王孝军 ;

陈志平 ;

牛作艳 .

中国专利 :CN221407278U ,2024-07-23

[5]

一种晶圆翻转装置 [P].

沈东民 ;

卢伟 ;

吴国明 .

中国专利 :CN222914779U ,2025-05-27

[6]

一种晶圆翻转装置 [P].

许峯嘉 ;

徐柏翔 ;

石雷 .

中国专利 :CN220963295U ,2024-05-14

[7]

一种晶圆翻转装置 [P].

薛增辉 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

葛敬昌 ;

叶莹 .

中国专利 :CN218414541U ,2023-01-31

[8]

晶圆翻转装置 [P].

杜俊钟 ;

沈红磊 .

中国专利 :CN222749475U ,2025-04-11

[9]

晶圆翻转装置 [P].

张照康 ;

梁楷模 .

中国专利 :CN221201136U ,2024-06-21

[10]

一种晶圆片铁环搬运翻转装置 [P].

郭易 ;

周鹏程 ;

刘乾峰 .

中国专利 :CN222637264U ,2025-03-18

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