一种晶圆片铁环搬运翻转装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420875818.7

申请日：

2024-04-25

公开(公告)号：

CN222637264U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

郭易周鹏程刘乾峰

申请人：

争丰半导体科技（苏州）有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园1号厂房

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345

代理人：

井凯

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆搬运翻转装置 [P].

郭飞 ;

徐胜江 ;

林杰 .

中国专利 :CN213905337U ,2021-08-06

[2]

一种铁环翻转搬运装置 [P].

周鹏程 .

中国专利 :CN220563758U ,2024-03-08

[3]

一种晶圆翻转装置 [P].

左国军 ;

蔡嘉雄 ;

邱开宇 ;

孙伟 .

中国专利 :CN222619735U ,2025-03-14

[4]

一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置 [P].

李鹏 ;

王佳伟 ;

曹刚 .

中国专利 :CN222838802U ,2025-05-06

[5]

一种晶圆翻转扫片机构和晶圆翻转扫片移动的机构 [P].

时磊 ;

张羽成 .

中国专利 :CN222867653U ,2025-05-13

[6]

一种晶圆翻转装置 [P].

王孝军 ;

陈志平 ;

牛作艳 .

中国专利 :CN221407278U ,2024-07-23

[7]

一种晶圆翻转装置 [P].

沈东民 ;

卢伟 ;

吴国明 .

中国专利 :CN222914779U ,2025-05-27

[8]

一种晶圆翻转装置 [P].

许峯嘉 ;

徐柏翔 ;

石雷 .

中国专利 :CN220963295U ,2024-05-14

[9]

一种晶圆翻转装置 [P].

黄海荣 ;

谢柏弘 .

中国专利 :CN215625201U ,2022-01-25

[10]

一种晶圆翻转装置 [P].

薛增辉 ;

张庆 ;

鲍伟成 ;

王文广 ;

葛敬昌 ;

叶莹 .

中国专利 :CN218414541U ,2023-01-31

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