微机械悬空结构的制备方法、微机械悬空结构和微机械传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411562318.9

申请日：

2024-11-04

公开(公告)号：

CN119683562A

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

赵晓光刘晓琴邢飞尤政鲁文帅边潍杜章磊刘丽君

申请人：

启元实验室

申请人地址：

100084 北京市海淀区紫雀路55号院8号楼-1至6层101

IPC主分类号：

B81C1/00

IPC分类号：

B81B7/00 B81B7/02

代理机构：

北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446

代理人：

闫玉洁;何春晖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	公开	公开
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20241104

共 50 条

[1]

微机械结构和微机械传感器 [P].

C·纳格尔 ;

J·克拉森 ;

L·特布耶 ;

R·舍本 ;

R·艾德 .

中国专利 :CN114252652A ,2022-03-29

[2]

微机械结构和微机械传感器 [P].

S·基泽尔 ;

C·纳格尔 ;

S·京特 .

中国专利 :CN114162776A ,2022-03-11

[3]

微机械结构和微机械传感器 [P].

J·赖因穆特 ;

K-U·里曹 .

中国专利 :CN114229786A ,2022-03-25

[4]

微机械结构和微机械传感器 [P].

J·赖因穆特 ;

K-U·里曹 .

德国专利 :CN114229786B ,2025-12-23

[5]

用于制造微机械结构的方法和微机械结构 [P].

J·克拉森 ;

J·莱茵穆特 ;

S·京特 ;

P·布斯蒂安-托多罗娃 .

中国专利 :CN102951601B ,2013-03-06

[6]

微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法 [P].

J·克拉森 ;

D·古格尔 ;

G-N-C·乌尔里希 ;

M·林克-莱斯卡纳 ;

A·皮格勒尼耶 .

中国专利 :CN109073673B ,2018-12-21

[7]

微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法 [P].

G-N-C·乌尔希里 ;

A·奥尔托 .

中国专利 :CN104422786B ,2015-03-18

[8]

微机械传感器 [P].

H·哈默 .

中国专利 :CN102428348A ,2012-04-25

[9]

微机械传感器 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 ;

S·齐默尔曼 ;

S·T·耶格 .

中国专利 :CN109205546A ,2019-01-15

[10]

微机械传感器 [P].

H·哈默 .

中国专利 :CN102428376B ,2012-04-25

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