微机械结构和微机械传感器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111055659.3

申请日：

2021-09-09

公开(公告)号：

CN114229786B

公开(公告)日：

2025-12-23

发明(设计)人：

J·赖因穆特 K-U·里曹

申请人：

罗伯特·博世有限公司

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81B3/00

IPC分类号：

B81B7/02 G01P15/00

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

郭毅

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-23	授权	授权

共 50 条

[1]

微机械结构和微机械传感器 [P].

J·赖因穆特 ;

K-U·里曹 .

中国专利 :CN114229786A ,2022-03-25

[2]

微机械结构和微机械传感器 [P].

S·基泽尔 ;

C·纳格尔 ;

S·京特 .

中国专利 :CN114162776A ,2022-03-11

[3]

微机械结构和微机械传感器 [P].

C·纳格尔 ;

J·克拉森 ;

L·特布耶 ;

R·舍本 ;

R·艾德 .

中国专利 :CN114252652A ,2022-03-29

[4]

微机械传感器 [P].

A·维斯孔蒂 ;

A·科索夫 ;

J·哈恩 ;

J·克拉森 ;

T·吉塞尔曼 .

中国专利 :CN114249291A ,2022-03-29

[5]

微机械悬空结构的制备方法、微机械悬空结构和微机械传感器 [P].

赵晓光 ;

刘晓琴 ;

邢飞 ;

尤政 ;

鲁文帅 ;

边潍 ;

杜章磊 ;

刘丽君 .

中国专利 :CN119683562A ,2025-03-25

[6]

微机械传感器 [P].

H·哈默 .

中国专利 :CN102428348A ,2012-04-25

[7]

微机械传感器 [P].

A·丹嫩贝格 ;

M·施瓦茨 ;

S·齐默尔曼 ;

S·T·耶格 .

中国专利 :CN109205546A ,2019-01-15

[8]

微机械传感器 [P].

H·哈默 .

中国专利 :CN102428376B ,2012-04-25

[9]

微机械传感器 [P].

R·舍本 ;

R·艾德 ;

J·瓦尔德曼 .

中国专利 :CN112334779A ,2021-02-05

[10]

微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法 [P].

J·克拉森 ;

D·古格尔 ;

G-N-C·乌尔里希 ;

M·林克-莱斯卡纳 ;

A·皮格勒尼耶 .

中国专利 :CN109073673B ,2018-12-21

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