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正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜、抗蚀剂永久膜及膜的制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410933994.6
申请日：
2024-07-12
公开(公告)号：
CN119575759A
公开(公告)日：
2025-03-07
发明(设计)人：
长田裕仁 小関裕美子 伊部武史
申请人：
DIC株式会社
申请人地址：
日本东京板桥区坂下三丁目35番58号(邮递区号:174-8520)
IPC主分类号：
G03F7/039
IPC分类号：
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
马爽;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-03-07 公开 公开
共 50 条
[1]
正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜 [P]. 
长田裕仁 ;
伊部武史 ;
小关裕美子 .
日本专利 :CN120802561A ,2025-10-17
[2]
正型感光性树脂组合物、感光性膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜 [P]. 
长田裕仁 ;
伊部武史 ;
小关裕美子 .
日本专利 :CN120821152A ,2025-10-21
[3]
感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜 [P]. 
长田裕仁 ;
伊部武史 .
日本专利 :CN118672058A ,2024-09-20
[4]
负型感光性树脂组合物、硬化膜、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜 [P]. 
长田裕仁 ;
伊部武史 .
日本专利 :CN120848112A ,2025-10-28
[5]
正型感光性树脂组合物、抗蚀膜、抗蚀下层膜和抗蚀永久膜 [P]. 
长田裕仁 ;
伊部武史 .
日本专利 :CN118011733A ,2024-05-10
[6]
抗蚀剂下层膜形成用感光性组合物及抗蚀剂下层膜 [P]. 
今田知之 .
中国专利 :CN107003612B ,2017-08-01
[7]
正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜 [P]. 
今田知之 ;
长田裕仁 .
日本专利 :CN114902135B ,2024-07-02
[8]
正型感光性树脂组合物、固化膜和抗蚀膜 [P]. 
今田知之 ;
长田裕仁 .
中国专利 :CN114902135A ,2022-08-12
[9]
感光性树脂组合物、干膜抗蚀剂 [P]. 
朱高华 .
中国专利 :CN110632825A ,2019-12-31
[10]
感光性抗蚀剂组合物和干膜抗蚀剂 [P]. 
李志强 ;
李伟杰 ;
詹志英 .
中国专利 :CN118112889A ,2024-05-31
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