等离子体设备及等离子体密度的调节方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411501820.9

申请日：

2024-10-25

公开(公告)号：

CN119361408B

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

杨平

申请人：

上海稷以科技有限公司

申请人地址：

200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312

代理人：

孟丽娜

法律状态：

专利权质押登记、变更及注销

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	专利权质押登记、变更及注销	专利权质押登记IPC(主分类):H01J 37/32登记号:Y2025980028094登记日:20250714出质人:上海稷以科技有限公司质权人:交通银行股份有限公司上海闵行支行发明名称:等离子体设备及等离子体密度的调节方法申请日:20241025授权公告日:20250321
2025-03-21	授权	授权
2025-01-24	公开	公开
2025-02-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20241025

共 50 条

[1]

等离子体设备及等离子体密度的调节方法 [P].

杨平 .

中国专利 :CN119361408A ,2025-01-24

[2]

等离子体设备及等离子体设备监测方法 [P].

陈怡杰 ;

廖耕颍 ;

宋至伟 ;

陈明凯 ;

邱瀚仁 ;

陈益弘 .

中国专利 :CN109727837B ,2019-05-07

[3]

等离子体处理装置以及等离子体密度分布的调节方法 [P].

田才忠 ;

石桥清隆 ;

野沢俊久 .

中国专利 :CN101855946B ,2010-10-06

[4]

等离子体设备和等离子体处理方法 [P].

叶江波 ;

钱俊 ;

肖禄 .

中国专利 :CN109564987A ,2019-04-02

[5]

等离子体处理装置及等离子体分布的调节方法 [P].

李俊良 .

中国专利 :CN105789010A ,2016-07-20

[6]

等离子体喷射装置及低温等离子体设备 [P].

赵武 ;

陈军 ;

郭鑫 ;

张梁坤 .

中国专利 :CN209472820U ,2019-10-08

[7]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN104867801A ,2015-08-26

[8]

电感耦合等离子体喷枪及等离子体设备 [P].

邬苏东 ;

叶继春 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 ;

张胜 .

中国专利 :CN204614759U ,2015-09-02

[9]

等离子体设备 [P].

管长乐 ;

范强 .

中国专利 :CN120048715A ,2025-05-27

[10]

等离子体设备 [P].

M·坎茨勒 ;

P·赛兰 ;

F·米歇尔 ;

T·文德 .

中国专利 :CN114830835A ,2022-07-29

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