一种化学机械平坦化方法及化学机械平坦化装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411587922.7

申请日：

2024-11-07

公开(公告)号：

CN119635520A

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

赵光远何艳红何家鑫罗付

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B37/04

IPC分类号：

B24B37/10 B24B1/00 B24B37/005 B24B49/10 B24B37/34

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

刘贺秋

法律状态：

公开

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	公开	公开
2025-04-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 37/04申请日:20241107

共 50 条

[1]

化学机械平坦化装置 [P].

徐峥 .

中国专利 :CN308996880S ,2024-12-10

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[3]

清洗装置和化学机械平坦化设备 [P].

唐强 ;

蒋锡兵 .

中国专利 :CN118990324A ,2024-11-22

[4]

化学机械平坦化系统 [P].

陈世忠 ;

林奕劭 ;

彭升泰 ;

薛雅仁 ;

陈鸿霖 ;

李仁铎 .

中国专利 :CN111230731A ,2020-06-05

[5]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[6]

一种抛光头及化学机械平坦化设备 [P].

具滋贤 ;

杨涛 ;

张月 ;

刘青 .

中国专利 :CN114473852A ,2022-05-13

[7]

化学机械平坦化的方法 [P].

粘博钦 ;

黄罡 ;

洪伟伦 .

中国专利 :CN111952163A ,2020-11-17

[8]

化学机械平坦化的系统及方法 [P].

许峻维 .

中国专利 :CN114695104A ,2022-07-01

[9]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111618736A ,2020-09-04

[10]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN222874202U ,2025-05-16

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