一种化学机械平坦化设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421603395.X

申请日：

2024-07-08

公开(公告)号：

CN222874202U

公开(公告)日：

2025-05-16

发明(设计)人：

李伟尹影张为强周庆亚史霄

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

B24B37/00

IPC分类号：

B24B37/20 B24B37/34 B24B37/10 B24B37/04 H01L21/306

代理机构：

河北国维致远知识产权代理有限公司 13137

代理人：

郭亭亭

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-16	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械平坦化设备及晶圆处理方法 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN118832522A ,2024-10-25

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

丁夏楠 .

中国专利 :CN217493862U ,2022-09-27

[3]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[4]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN213106278U ,2021-05-04

[5]

一种化学机械平坦化设备 [P].

杨渊思 .

中国专利 :CN218226091U ,2023-01-06

[6]

一种化学机械平坦化设备 [P].

朱政挺 .

中国专利 :CN220439577U ,2024-02-02

[7]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN212192671U ,2020-12-22

[8]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[9]

一种化学机械平坦化方法及化学机械平坦化装置 [P].

赵光远 ;

何艳红 ;

何家鑫 ;

罗付 .

中国专利 :CN119635520A ,2025-03-18

[10]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111618736A ,2020-09-04

← 1 2 3 4 5 →