一种化学机械平坦化设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020596937.0

申请日：

2020-04-20

公开(公告)号：

CN213106278U

公开(公告)日：

2021-05-04

发明(设计)人：

李婷岳爽尹影崔凯蒋锡兵靳阳

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B3734 B24B53017 B24B4102 B24B5702

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

于妙卓

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111618736A ,2020-09-04

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN212192671U ,2020-12-22

[3]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111482891A ,2020-08-04

[4]

一种抛光装置及化学机械平坦化设备 [P].

崔凯 ;

李婷 ;

蒋锡兵 ;

岳爽 ;

徐俊成 ;

尹影 .

中国专利 :CN111958479B ,2020-11-20

[5]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN222874202U ,2025-05-16

[6]

一种化学机械平坦化设备 [P].

丁夏楠 .

中国专利 :CN217493862U ,2022-09-27

[7]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[8]

一种化学机械平坦化设备 [P].

杨渊思 .

中国专利 :CN218226091U ,2023-01-06

[9]

一种化学机械平坦化设备 [P].

朱政挺 .

中国专利 :CN220439577U ,2024-02-02

[10]

一种抛光垫修整器及化学机械平坦化设备 [P].

崔凯 ;

岳爽 ;

李欢 ;

李婷 ;

蒋锡兵 ;

李岩 ;

景允伸 .

中国专利 :CN112077742A ,2020-12-15

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