一种化学机械平坦化设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010313089.2

申请日：

2020-04-20

公开(公告)号：

CN111482891A

公开(公告)日：

2020-08-04

发明(设计)人：

李婷岳爽尹影崔凯蒋锡兵靳阳

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号

IPC主分类号：

B24B3710

IPC分类号：

B24B5702 B24B53017 B24B4102 B24B3734

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

王艺涵

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/10 申请日:20200420
2020-08-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111618736A ,2020-09-04

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN213106278U ,2021-05-04

[3]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN212192671U ,2020-12-22

[4]

一种抛光装置及化学机械平坦化设备 [P].

崔凯 ;

李婷 ;

蒋锡兵 ;

岳爽 ;

徐俊成 ;

尹影 .

中国专利 :CN111958479B ,2020-11-20

[5]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[6]

一种抛光垫修整器及化学机械平坦化设备 [P].

崔凯 ;

岳爽 ;

李欢 ;

李婷 ;

蒋锡兵 ;

李岩 ;

景允伸 .

中国专利 :CN112077742A ,2020-12-15

[7]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[8]

一种化学机械平坦化方法及化学机械平坦化装置 [P].

赵光远 ;

何艳红 ;

何家鑫 ;

罗付 .

中国专利 :CN119635520A ,2025-03-18

[9]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN222874202U ,2025-05-16

[10]

一种化学机械平坦化设备 [P].

丁夏楠 .

中国专利 :CN217493862U ,2022-09-27

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