一种化学机械平坦化设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321672289.2

申请日：

2023-06-28

公开(公告)号：

CN220439577U

公开(公告)日：

2024-02-02

发明(设计)人：

朱政挺

申请人：

杭州众硅电子科技有限公司

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

B24B37/04 B24B37/34 B24B37/30 B24B57/02 H01L21/67 H01L21/306

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

邵志

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-02	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN222874202U ,2025-05-16

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

丁夏楠 .

中国专利 :CN217493862U ,2022-09-27

[3]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[4]

一种化学机械平坦化设备 [P].

黄建中 .

中国专利 :CN110666678A ,2020-01-10

[5]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN213106278U ,2021-05-04

[6]

一种化学机械平坦化设备 [P].

杨渊思 .

中国专利 :CN218226091U ,2023-01-06

[7]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN212192671U ,2020-12-22

[8]

一种化学机械平坦化设备 [P].

顾海洋 ;

张志军 ;

古枫 ;

王东辉 .

中国专利 :CN109015314A ,2018-12-18

[9]

一种化学机械平坦化设备 [P].

顾海洋 ;

杨思远 .

中国专利 :CN110039441A ,2019-07-23

[10]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

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