一种化学机械平坦化设备

被引：0

申请号：

CN202222128694.X

申请日：

2022-08-12

公开(公告)号：

CN218226091U

公开(公告)日：

2023-01-06

发明(设计)人：

杨渊思

申请人：

申请人地址：

311300 浙江省杭州市临安区青山湖街道创业街88号1幢一层

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B3734

代理机构：

杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267

代理人：

邵志

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李伟 ;

尹影 ;

张为强 ;

周庆亚 ;

史霄 .

中国专利 :CN222874202U ,2025-05-16

[2]

一种化学机械平坦化设备 [P].

丁夏楠 .

中国专利 :CN217493862U ,2022-09-27

[3]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN213106278U ,2021-05-04

[4]

一种化学机械平坦化设备 [P].

朱政挺 .

中国专利 :CN220439577U ,2024-02-02

[5]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN212192671U ,2020-12-22

[6]

化学机械平坦化设备 [P].

张庭熏 ;

颜宏 ;

沈稘翔 ;

黄富明 ;

林均洁 ;

张宗宪 ;

崔骥 ;

陈亮光 ;

陈志宏 ;

陈科维 .

中国专利 :CN113134783A ,2021-07-20

[7]

一种化学机械平坦化设备 [P].

李婷 ;

岳爽 ;

尹影 ;

崔凯 ;

蒋锡兵 ;

靳阳 .

中国专利 :CN111618736A ,2020-09-04

[8]

一种化学机械平坦化设备 [P].

费玖海 ;

刘福强 .

中国专利 :CN111673607A ,2020-09-18

[9]

一种化学机械平坦化设备 [P].

黄建中 .

中国专利 :CN110666678A ,2020-01-10

[10]

一种化学机械平坦化设备 [P].

杨老又 .

中国专利 :CN111136576A ,2020-05-12

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