一种硅片清洗设备用挡气闸板机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421203186.6

申请日：

2024-05-29

公开(公告)号：

CN222668957U

公开(公告)日：

2025-03-25

发明(设计)人：

郑严严李世磊季鹏龚子权周文彬

申请人：

昆山晟成光电科技有限公司

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇迎宾西路1601号C2栋

IPC主分类号：

F16K3/02

IPC分类号：

F16K3/314 F16K31/04

代理机构：

苏州源禾科达知识产权代理事务所(普通合伙) 32638

代理人：

杨芬

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	授权	授权

共 50 条

[1]

挡料闸板机构 [P].

周忠学 .

中国专利 :CN207826726U ,2018-09-07

[2]

一种挡料闸板机构 [P].

唐永军 .

中国专利 :CN212558338U ,2021-02-19

[3]

硅片清洗设备用烘干机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 .

中国专利 :CN204854283U ,2015-12-09

[4]

一种硅片清洗设备 [P].

李晶哲 ;

丁可庄 .

中国专利 :CN203304220U ,2013-11-27

[5]

一种硅片清洗设备 [P].

杨与胜 ;

郭彦恒 ;

胡连旺 .

中国专利 :CN221304594U ,2024-07-09

[6]

一种硅片清洗设备 [P].

左国军 ;

成旭 ;

李雄朋 ;

任金枝 .

中国专利 :CN211100448U ,2020-07-28

[7]

一种硅片清洗设备 [P].

洪育林 ;

张震 ;

安冠宇 ;

李文文 ;

刘凯 .

中国专利 :CN204564642U ,2015-08-19

[8]

一种硅片清洗设备 [P].

洪育林 ;

张震 ;

安冠宇 ;

李文文 ;

刘凯 .

中国专利 :CN204638624U ,2015-09-16

[9]

一种硅片清洗设备 [P].

石坚 ;

朱棣 ;

李杰 ;

于友 ;

刘世伟 .

中国专利 :CN209691736U ,2019-11-26

[10]

一种硅片清洗设备 [P].

万关良 .

中国专利 :CN214672522U ,2021-11-09

← 1 2 3 4 5 →