模型及其建立方法和系统、补偿方法、设备及存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311217543.4

申请日：

2023-09-19

公开(公告)号：

CN119668038A

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

王蓬勃贺婷张迎春

申请人：

中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

申请人地址：

201203 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张江路18号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/67 G06F17/18

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

严皖金;张雪琴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20230919
2025-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

模型及其建立方法和系统、补偿方法、设备及存储介质 [P].

贾敏 ;

聂智勇 ;

胡旭 ;

王兴荣 .

中国专利 :CN120029008A ,2025-05-23

[2]

模型的建立方法及系统、位置偏差补偿方法、设备及存储介质 [P].

王艳秋 ;

李甲兮 ;

朱皖骄 .

中国专利 :CN120831875A ,2025-10-24

[3]

OPC模型及其建立方法和系统、OPC方法、设备及存储介质 [P].

杜杳隽 .

中国专利 :CN116300297B ,2025-09-02

[4]

模型的建立方法及系统、版图修正方法、设备及存储介质 [P].

王艳秋 ;

丁丽华 ;

李甲兮 ;

邵宇辰 ;

程仁强 .

中国专利 :CN120779673A ,2025-10-14

[5]

模型建立方法、装置、设备及存储介质 [P].

池永为 ;

白彧 .

中国专利 :CN118627317A ,2024-09-10

[6]

模型建立方法、装置、设备及存储介质 [P].

池永为 ;

白彧 .

中国专利 :CN118627317B ,2025-01-21

[7]

船舶船体模型建立方法、系统、设备及存储介质 [P].

李海波 ;

蔡乾亚 ;

朱明华 ;

王尧 ;

朴香美 ;

孙浩月 .

中国专利 :CN118171386A ,2024-06-11

[8]

MOSFET器件模型建立方法、系统、设备及存储介质 [P].

田润 ;

柳龙九 .

中国专利 :CN118350344A ,2024-07-16

[9]

MOSFET器件模型建立方法、系统、设备及存储介质 [P].

田润 ;

柳龙九 .

中国专利 :CN118350344B ,2024-09-03

[10]

人体模型建立方法、设备和存储介质 [P].

王铁 ;

武守喜 ;

秦丽蓬 ;

吕硕颖 ;

左培文 ;

崔鸣 ;

马文双 ;

唐志诚 ;

戴淼 .

中国专利 :CN113903059B ,2022-01-07

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