图案化晶圆缺陷分类方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411797943.1

申请日：

2024-12-09

公开(公告)号：

CN119580009A

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

孟超孟凯张航瑛楼佩煌武星钱晓明

申请人：

南京航空航天大学南京航空航天大学苏州研究院

申请人地址：

210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号

IPC主分类号：

G06V10/764

IPC分类号：

G06V10/774 G06V10/77 G06N5/01 G06N3/045 G06N3/0475 G06N3/094 G06V10/82 G06N3/0464 G06T7/00

代理机构：

北京新科华领知识产权代理事务所(普通合伙) 16115

代理人：

薛妍

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06V 10/764申请日:20241209
2025-03-07	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷分类方法以及晶圆缺陷分类装置 [P].

吴在晚 ;

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115115564A ,2022-09-27

[2]

晶圆缺陷分类方法及晶圆缺陷分类系统、电子设备 [P].

颜元青 .

中国专利 :CN119418101A ,2025-02-11

[3]

晶圆缺陷分类方法、装置、设备及存储介质 [P].

张立睿 .

中国专利 :CN120808042A ,2025-10-17

[4]

一种基于晶圆图的晶圆缺陷分类方法及装置 [P].

蔡雨桐 ;

杜云峰 ;

白肖艳 ;

夏敏 ;

易丛文 ;

管健 .

中国专利 :CN119580021A ,2025-03-07

[5]

晶圆缺陷分类模型的训练方法、分类方法、设备及介质 [P].

雷剑锋 ;

刘钦源 .

中国专利 :CN118429694A ,2024-08-02

[6]

晶圆缺陷分类模型的训练方法、分类方法、设备及介质 [P].

雷剑锋 ;

刘钦源 ;

张国凯 .

中国专利 :CN117975120A ,2024-05-03

[7]

一种晶圆缺陷图像分类方法及系统 [P].

匡国文 ;

张芷豪 ;

赵文龙 ;

卢鑫 ;

王旭 .

中国专利 :CN117809119A ,2024-04-02

[8]

一种晶圆缺陷图像分类方法及系统 [P].

匡国文 ;

张芷豪 ;

赵文龙 ;

卢鑫 ;

王旭 .

中国专利 :CN117809119B ,2024-08-02

[9]

图案化晶圆表面缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

梅爽 ;

刁兆磊 ;

程江涛 ;

向娟 ;

文国军 .

中国专利 :CN118469970A ,2024-08-09

[10]

数据处理方法、图案检测方法及晶圆缺陷图案检测方法 [P].

周民植 ;

朴省美 ;

郑智寅 ;

金在勋 ;

朱耿嬉 ;

朴穫根 ;

李栢永 .

中国专利 :CN112102226A ,2020-12-18

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