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硅片清洗设备及其清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411769051.0
申请日：
2024-12-04
公开(公告)号：
CN119650466A
公开(公告)日：
2025-03-18
发明(设计)人：
王学卫
蓝淋
鱼科军
申请人：
无锡釜川科技股份有限公司
申请人地址：
214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/02
B08B3/04
代理机构：
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙) 32409
代理人：
吴彬青
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-18 | 公开 | 公开 |
| 2025-04-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241204 |