硅片清洗设备

被引：0

申请号：

CN202220092725.8

申请日：

2022-01-13

公开(公告)号：

CN217121054U

公开(公告)日：

2022-08-05

发明(设计)人：

张珊鲁战锋任新刚迪大明成路

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

B08B304

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167 H01L21677

代理机构：

北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435

代理人：

郭栋梁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-05	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片清洗设备 [P].

刘成中 .

中国专利 :CN210200670U ,2020-03-27

[2]

硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN209119058U ,2019-07-16

[3]

太阳能硅片清洗设备 [P].

杨爱静 ;

许江涛 ;

孟庆平 ;

李跃恒 ;

赵邦桂 .

中国专利 :CN207839498U ,2018-09-11

[4]

一种硅片清洗设备 [P].

白如意 ;

王志广 ;

王强 ;

马玉水 .

中国专利 :CN221994420U ,2024-11-12

[5]

硅片插片装置、硅片清洗设备以及硅片清洗方法 [P].

魏超锋 ;

郭江涛 ;

邓浩 ;

张济蕾 ;

曹明奇 ;

梁刚 .

中国专利 :CN108109935A ,2018-06-01

[6]

电池硅片清洗设备 [P].

陈海燕 .

中国专利 :CN210443532U ,2020-05-01

[7]

硅片清洗设备及其清洗方法 [P].

王学卫 ;

蓝淋 ;

鱼科军 .

中国专利 :CN119650466A ,2025-03-18

[8]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[9]

硅片清洗设备及硅片清洗方法 [P].

袁松柏 .

中国专利 :CN117878026A ,2024-04-12

[10]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

张鹏奎 .

中国专利 :CN117542762A ,2024-02-09

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