硅片插片装置、硅片清洗设备以及硅片清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611044801.3

申请日：

2016-11-24

公开(公告)号：

CN108109935A

公开(公告)日：

2018-06-01

发明(设计)人：

魏超锋郭江涛邓浩张济蕾曹明奇梁刚

申请人：

申请人地址：

710100 陕西省西安市长安区航天中路388号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677 H01L3118

代理机构：

西安弘理专利事务所 61214

代理人：

钟欢

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-06-01	公开	公开
2018-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20161124

共 50 条

[1]

硅片插片装置及硅片清洗设备 [P].

魏超锋 ;

郭江涛 ;

邓浩 ;

张济蕾 ;

曹明奇 ;

梁刚 .

中国专利 :CN206432240U ,2017-08-22

[2]

硅片阻挡机构、硅片清洗设备以及硅片清洗方法 [P].

周喜栋 ;

陆进进 ;

丁晓 ;

王家伟 .

中国专利 :CN120618996A ,2025-09-12

[3]

硅片清洗装置及硅片清洗设备 [P].

朱伟 ;

谢宇宽 ;

季建 .

中国专利 :CN221657290U ,2024-09-06

[4]

硅片清洗装置、硅片双面清洗设备及硅片的清洗方法 [P].

左国军 ;

柯国英 ;

李雄朋 .

中国专利 :CN111863660A ,2020-10-30

[5]

硅片清洗设备及硅片清洗方法 [P].

袁松柏 .

中国专利 :CN117878026A ,2024-04-12

[6]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

张鹏奎 .

中国专利 :CN117542762A ,2024-02-09

[7]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

衡鹏 ;

李阳 .

中国专利 :CN112435916B ,2024-09-24

[8]

硅片清洗方法及硅片清洗设备 [P].

衡鹏 ;

李阳 .

中国专利 :CN112435916A ,2021-03-02

[9]

硅片清洗设备 [P].

刘成中 .

中国专利 :CN210200670U ,2020-03-27

[10]

硅片清洗设备 [P].

张珊 ;

鲁战锋 ;

任新刚 ;

迪大明 ;

成路 .

中国专利 :CN217121054U ,2022-08-05

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