一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置

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专利类型
发明
申请号
CN202510047371.3
申请日
2025-01-13
公开(公告)号
CN119592956A
公开(公告)日
2025-03-11
发明(设计)人
向可阳 邱双亮
申请人
深圳晶恒宇环境科技有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区建安路22号中创汇科技创新园3栋厂房101
IPC主分类号
C23F1/46
IPC分类号
C25B1/26 C25C1/12 C02F3/12
代理机构
深圳市联江知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44939
代理人
旷江华
法律状态
公开
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种酸性蚀刻液再生循环装置 [P]. 
罗宝奎 ;
陈永江 .
中国专利 :CN109972138A ,2019-07-05
[2]
一种酸性废蚀刻液的循环再生方法及装置 [P]. 
陈飙 .
中国专利 :CN101492186A ,2009-07-29
[3]
一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法 [P]. 
苗润昌 .
中国专利 :CN109440112A ,2019-03-08
[4]
一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法 [P]. 
罗万里 .
中国专利 :CN109023374A ,2018-12-18
[5]
一种酸性废蚀刻液的循环再生装置 [P]. 
王万春 .
中国专利 :CN201933158U ,2011-08-17
[6]
一种酸性蚀刻液循环再生系统 [P]. 
苗润昌 .
中国专利 :CN209555373U ,2019-10-29
[7]
一种酸性蚀刻液再生循环方法 [P]. 
罗宝奎 ;
陈永江 .
中国专利 :CN109972139A ,2019-07-05
[8]
一种酸性蚀刻液循环再生系统及方法 [P]. 
欧阳锋 ;
邰康乾 ;
龙正 .
中国专利 :CN112458463A ,2021-03-09
[9]
一种酸性蚀刻液再生方法 [P]. 
郑健成 ;
周建新 ;
戴中辉 ;
关家彬 ;
叶保基 .
中国专利 :CN110106506A ,2019-08-09
[10]
一种酸性蚀刻液再生循环使用铜回收设备 [P]. 
陈灏康 .
中国专利 :CN106637216A ,2017-05-10