基于超声波的半导体芯片缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411909676.2

申请日：

2024-12-24

公开(公告)号：

CN119666982A

公开(公告)日：

2025-03-21

发明(设计)人：

胥亚军夏泳

申请人：

北测（上海）电子科技有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区芳春路400号

IPC主分类号：

G01N29/04

IPC分类号：

G01N29/06 G01N29/32 G01D21/02

代理机构：

上海誉知恒专利代理事务所(普通合伙) 31452

代理人：

李杨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 29/04申请日:20241224
2025-03-21	公开	公开

共 50 条

[1]

基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统 [P].

朱汪龙 ;

朱玲 .

中国专利 :CN211652689U ,2020-10-09

[2]

一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P].

王婷婷 ;

曾献金 .

中国专利 :CN118150694A ,2024-06-07

[3]

一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P].

王婷婷 ;

曾献金 .

中国专利 :CN118150694B ,2024-09-03

[4]

一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P].

任苗苗 ;

庄永正 ;

阎宗熙 ;

于铁金 .

中国专利 :CN119086720B ,2025-02-28

[5]

一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P].

任苗苗 ;

庄永正 ;

阎宗熙 ;

于铁金 .

中国专利 :CN119086720A ,2024-12-06

[6]

一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备 [P].

罗非 ;

罗娇风 ;

郑幼新 .

中国专利 :CN117871689A ,2024-04-12

[7]

管道缺陷的超声波无损检测装置 [P].

宋华 ;

葛昆山 ;

黄辉银 .

中国专利 :CN106224784A ,2016-12-14

[8]

基于超声波的缺陷检测方法、装置及电子设备 [P].

杨浩惠 .

中国专利 :CN117368320A ,2024-01-09

[9]

一种基于超声波和视觉检测的表面缺陷检测方法及系统 [P].

夏舞艳 ;

蓝智明 ;

李化泰 ;

邓利 ;

刘星 ;

马寅山 .

中国专利 :CN117890466B ,2024-06-21

[10]

一种基于超声波和视觉检测的表面缺陷检测方法及系统 [P].

夏舞艳 ;

蓝智明 ;

李化泰 ;

邓利 ;

刘星 ;

马寅山 .

中国专利 :CN117890466A ,2024-04-16

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