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一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311724243.5
申请日：
2023-12-14
公开(公告)号：
CN117871689A
公开(公告)日：
2024-04-12
发明(设计)人：
罗非
罗娇风
郑幼新
申请人：
罗非
申请人地址：
650000 云南省昆明市昆明经济技术开发区第三城映象欣城A区2幢1206
IPC主分类号：
G01N29/22
IPC分类号：
G01N29/04
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-12 | 公开 | 公开 |
| 2024-10-22 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):G01N 29/22申请公布日:20240412 |
| 2024-04-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 29/22申请日:20231214 |