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一种半导体用超声波缺陷检测设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510520293.4
申请日：
2025-04-24
公开(公告)号：
CN120352516A
公开(公告)日：
2025-07-22
发明(设计)人：
叶建东 任芳芳 朱顺明 顾书林
申请人：
南京大学
申请人地址：
210000 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
IPC主分类号：
G01N29/04
IPC分类号：
G01N29/22 G01R31/265 G01R1/04
代理机构：
北京汇众通达知识产权代理事务所(普通合伙) 11622
代理人：
张义权
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省 南京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-22 公开 公开
2025-08-08 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 29/04申请日:20250424
共 50 条
[1]
一种半导体用超声波缺陷检测设备 [P]. 
张伟江 ;
陶银娇 .
中国专利 :CN117233265B ,2024-01-26
[2]
一种半导体用超声波缺陷检测辅助设备 [P]. 
罗非 ;
罗娇风 ;
郑幼新 .
中国专利 :CN117871689A ,2024-04-12
[3]
一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P]. 
王婷婷 ;
曾献金 .
中国专利 :CN118150694A ,2024-06-07
[4]
一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P]. 
任苗苗 ;
庄永正 ;
阎宗熙 ;
于铁金 .
中国专利 :CN119086720B ,2025-02-28
[5]
一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P]. 
王婷婷 ;
曾献金 .
中国专利 :CN118150694B ,2024-09-03
[6]
一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 [P]. 
任苗苗 ;
庄永正 ;
阎宗熙 ;
于铁金 .
中国专利 :CN119086720A ,2024-12-06
[7]
一种半导体用超声波清洗装置 [P]. 
王应斌 ;
王拯 .
中国专利 :CN223527142U ,2025-11-07
[8]
一种超声波表面缺陷检测设备 [P]. 
徐焕 .
中国专利 :CN119738475A ,2025-04-01
[9]
一种超声波表面缺陷检测设备 [P]. 
徐焕 .
中国专利 :CN119738475B ,2025-08-01
[10]
基于超声波的半导体芯片缺陷检测系统 [P]. 
朱汪龙 ;
朱玲 .
中国专利 :CN211652689U ,2020-10-09
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