一种连续金属膜厚度测量机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420716539.6

申请日：

2024-04-09

公开(公告)号：

CN222635405U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

王宇

申请人：

沈阳镨和真空电子设备有限公司

申请人地址：

110000 辽宁省沈阳市沈北新区蒲河路83号

IPC主分类号：

G01B7/06

IPC分类号：

B25B11/00

代理机构：

北京北专蔚蓝专利代理事务所(普通合伙) 37304

代理人：

许安

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

全局金属膜厚度测量装置 [P].

赵德文 ;

曲子濂 ;

路新春 ;

赵乾 ;

何永勇 ;

孟永钢 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102175133B ,2011-09-07

[2]

一种金属膜厚度测量方法 [P].

李广宁 ;

许亮 .

中国专利 :CN104236444A ,2014-12-24

[3]

一种金属膜厚度检测装置 [P].

李坤 ;

张为强 ;

李俊奇 ;

白琨 .

中国专利 :CN222298721U ,2025-01-03

[4]

厚度测量机构 [P].

曹冲 ;

王洋 ;

仲鑫 .

中国专利 :CN220356340U ,2024-01-16

[5]

一种厚度测量机构 [P].

李志楠 ;

刘能 ;

刘亦阳 ;

陈强 ;

姚朗 ;

陈丽华 .

中国专利 :CN221173283U ,2024-06-18

[6]

厚度测量机构 [P].

汪飞 .

中国专利 :CN221802771U ,2024-10-01

[7]

光刻掩模版金属膜厚度测量方法 [P].

曹庄琪 ;

陈开盛 ;

沈益翰 .

中国专利 :CN102478389A ,2012-05-30

[8]

晶圆表面金属膜厚度测量方法 [P].

李辉 ;

梅双 .

中国专利 :CN112635349B ,2021-04-09

[9]

金属膜厚度测量方法、装置和系统 [P].

陈鲁 ;

何泊衢 ;

朱子逸 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN119289872A ,2025-01-10

[10]

一种金属膜层厚度测量方法 [P].

白琨 ;

李嘉浪 ;

张康 ;

贾若雨 ;

孟晓云 ;

周庆亚 .

中国专利 :CN115289958B ,2025-04-15

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