一种金属膜厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310240197.1

申请日：

2013-06-18

公开(公告)号：

CN104236444A

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

李广宁许亮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G01B706

IPC分类号：

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

牛峥;王丽琴

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-04	授权	授权
2015-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101595682377 IPC(主分类):G01B 7/06 专利申请号:2013102401971 申请日:20130618
2014-12-24	公开	公开

共 50 条

[1]

光刻掩模版金属膜厚度测量方法 [P].

曹庄琪 ;

陈开盛 ;

沈益翰 .

中国专利 :CN102478389A ,2012-05-30

[2]

晶圆表面金属膜厚度测量方法 [P].

李辉 ;

梅双 .

中国专利 :CN112635349B ,2021-04-09

[3]

金属膜厚度测量方法、装置和系统 [P].

陈鲁 ;

何泊衢 ;

朱子逸 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN119289872A ,2025-01-10

[4]

基于OD测量的金属膜厚度快速测量方法 [P].

喻波 ;

姚舜 ;

金春水 .

中国专利 :CN105627936A ,2016-06-01

[5]

溅镀金属膜厚度测量方法及其系统 [P].

茆同海 ;

侯汉成 ;

刘坤明 ;

宋嘉铭 .

中国专利 :CN118315296A ,2024-07-09

[6]

一种金属膜层厚度测量方法 [P].

白琨 ;

李嘉浪 ;

张康 ;

贾若雨 ;

孟晓云 ;

周庆亚 .

中国专利 :CN115289958B ,2025-04-15

[7]

金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质 [P].

路新春 ;

田芳馨 ;

魏艺璇 ;

王超 ;

刘杰 .

中国专利 :CN119153351A ,2024-12-17

[8]

金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质 [P].

路新春 ;

田芳馨 ;

魏艺璇 ;

王超 ;

刘杰 .

中国专利 :CN119153351B ,2025-02-18

[9]

全局金属膜厚度测量装置 [P].

赵德文 ;

曲子濂 ;

路新春 ;

赵乾 ;

何永勇 ;

孟永钢 ;

雒建斌 .

中国专利 :CN102175133B ,2011-09-07

[10]

一种连续金属膜厚度测量机构 [P].

王宇 .

中国专利 :CN222635405U ,2025-03-18

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