金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411628961.7

申请日：

2024-11-15

公开(公告)号：

CN119153351A

公开(公告)日：

2024-12-17

发明(设计)人：

路新春田芳馨魏艺璇王超刘杰

申请人：

华海清科股份有限公司

申请人地址：

300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

B24B37/015 B24B49/10 B24B37/10 B24B37/34 B24B57/02

代理机构：

代理人：

法律状态：

公开

国省代码：

天津市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-17	公开	公开
2025-01-03	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20241115
2025-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

金属膜厚度测量方法、装置、设备、抛光方法和存储介质 [P].

路新春 ;

田芳馨 ;

魏艺璇 ;

王超 ;

刘杰 .

中国专利 :CN119153351B ,2025-02-18

[2]

金属膜厚度测量方法、装置和系统 [P].

陈鲁 ;

何泊衢 ;

朱子逸 ;

马砚忠 ;

张嵩 .

中国专利 :CN119289872A ,2025-01-10

[3]

溅镀金属膜厚度测量方法及其系统 [P].

茆同海 ;

侯汉成 ;

刘坤明 ;

宋嘉铭 .

中国专利 :CN118315296A ,2024-07-09

[4]

一种金属膜层厚度测量方法 [P].

白琨 ;

李嘉浪 ;

张康 ;

贾若雨 ;

孟晓云 ;

周庆亚 .

中国专利 :CN115289958B ,2025-04-15

[5]

光刻掩模版金属膜厚度测量方法 [P].

曹庄琪 ;

陈开盛 ;

沈益翰 .

中国专利 :CN102478389A ,2012-05-30

[6]

一种金属膜厚度测量方法 [P].

李广宁 ;

许亮 .

中国专利 :CN104236444A ,2014-12-24

[7]

晶圆表面金属膜厚度测量方法 [P].

李辉 ;

梅双 .

中国专利 :CN112635349B ,2021-04-09

[8]

晶圆金属薄膜厚度的测量方法、装置、抛光设备和介质 [P].

路新春 ;

刘杰 ;

田芳馨 ;

王同庆 ;

赵德文 .

中国专利 :CN118905940A ,2024-11-08

[9]

一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备 [P].

王成鑫 ;

王同庆 ;

田芳馨 ;

路新春 .

中国专利 :CN115464556B ,2024-01-26

[10]

一种金属膜厚测量方法和化学机械抛光设备 [P].

王成鑫 ;

王同庆 ;

田芳鑫 ;

路新春 .

中国专利 :CN115464556A ,2022-12-13

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