共 50 条
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着火制御方法及び基板処理装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20230138513
申请日：
2023-08-29
公开(公告)号：
JP2025033039A
公开(公告)日：
2025-03-13
发明(设计)人：
KOBAYASHI TAKESHI
申请人：
TOKYO ELECTRON LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H05H1/46
IPC分类号：
C23C16/505
H01L21/31
H01L21/318
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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