一种真空镀膜的靶材固定结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421541263.9

申请日：

2024-07-02

公开(公告)号：

CN222729886U

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

付礼明刘传省

申请人：

苏州纳丰真空技术有限公司

申请人地址：

215134 江苏省苏州市相城区渭塘镇渭中路81号5号楼306

IPC主分类号：

C23C14/50

IPC分类号：

C03C17/00

代理机构：

深圳那罗延知识产权代理有限公司 441100

代理人：

蔡姗

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种真空镀膜靶材安装结构 [P].

冯伟 ;

吴海平 ;

杜晓颖 ;

杜国才 .

中国专利 :CN213172548U ,2021-05-11

[2]

真空镀膜靶材 [P].

进藤孝明 ;

中村肇 ;

石野耕司 ;

宇佐美达巳 ;

松田麻也子 .

中国专利 :CN300825422D ,2008-09-03

[3]

一种靶材加工的真空镀膜装置 [P].

付礼明 ;

刘传省 .

中国专利 :CN223176184U ,2025-08-01

[4]

一种真空镀膜靶材工装 [P].

李德飞 .

中国专利 :CN215476031U ,2022-01-11

[5]

一种新型真空镀膜靶材永磁结构 [P].

黄裕祥 .

中国专利 :CN205313660U ,2016-06-15

[6]

一种真空镀膜承载装置的固定结构 [P].

杨宗明 ;

王小东 ;

高晗 ;

张清清 .

中国专利 :CN223226172U ,2025-08-15

[7]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

刘佩杰 .

中国专利 :CN215887212U ,2022-02-22

[8]

一种真空镀膜机的靶材保护结构 [P].

吴伟亮 ;

冯刚 ;

邓永琪 ;

汪毅 ;

梁海洋 ;

李章雄 .

中国专利 :CN211256069U ,2020-08-14

[9]

一种真空镀膜靶材用钢管 [P].

冯军 .

中国专利 :CN215481239U ,2022-01-11

[10]

一种新型真空镀膜靶材双电刷结构 [P].

黄裕祥 .

中国专利 :CN205501410U ,2016-08-24

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