大尺寸AZO靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411822301.2

申请日：

2024-12-11

公开(公告)号：

CN119735435A

公开(公告)日：

2025-04-01

发明(设计)人：

周静茹陈曦李光旭李帅余芳蔡新志

申请人：

先导薄膜材料（江苏）有限公司

申请人地址：

221112 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区同创路西、五环路北

IPC主分类号：

C04B35/453

IPC分类号：

C04B35/622 C23C14/34

代理机构：

长沙辰齐知壹知识产权代理事务所(普通合伙) 43290

代理人：

李琼芳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20241211
2025-04-01	公开	公开

共 50 条

[1]

高致密、低电阻率、少白皮的大尺寸AZO旋转靶材及其制备方法 [P].

周静茹 ;

陈曦 ;

荀博奇 ;

李帅 ;

余芳 ;

蔡新志 .

中国专利 :CN119735436A ,2025-04-01

[2]

高致密度AZO靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

张凤戈 ;

唐培新 ;

高明 ;

张路长 ;

姚惠龙 ;

缪磊 ;

王江廷 ;

孙右文 .

中国专利 :CN104418592A ,2015-03-18

[3]

AZO靶材的制备方法及AZO靶材 [P].

孔伟华 ;

董冬青 .

中国专利 :CN109280877A ,2019-01-29

[4]

一种大尺寸钨合金靶材及其制备方法 [P].

姚力军 ;

周敏 ;

王巨宝 ;

王科 .

中国专利 :CN121223077A ,2025-12-30

[5]

一种氧化锌铝靶材及其制备方法 [P].

谭洪蕾 ;

邵学亮 ;

李开杰 ;

王奇峰 .

中国专利 :CN118955117A ,2024-11-15

[6]

IZO陶瓷靶材及其制备方法 [P].

王之君 ;

薛建设 ;

王梦迪 ;

孙本双 ;

刘苗 ;

王成铎 ;

陈杰 ;

刘洋 ;

曾学云 .

中国专利 :CN118754608A ,2024-10-11

[7]

一种AZO靶材及其制备方法 [P].

郝振华 ;

孙本双 ;

莫哲 ;

刘洋 ;

舒永春 ;

陈杰 ;

曾学云 .

中国专利 :CN114230332A ,2022-03-25

[8]

高密度AZO靶材及其制备方法 [P].

程会伦 ;

赵小军 ;

虞辉 ;

覃雪峰 .

中国专利 :CN102924076A ,2013-02-13

[9]

一种钇掺杂的AZO靶材及其制备方法 [P].

张珂 ;

胡茂横 ;

王会文 .

中国专利 :CN101580384B ,2009-11-18

[10]

一种锗掺杂的AZO靶材及其制备方法 [P].

胡茂横 ;

王会文 ;

张珂 .

中国专利 :CN101575207A ,2009-11-11

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