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冷却装置、净化台和扩散炉
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202420847123.8
申请日
:
2024-04-22
公开(公告)号
:
CN222718690U
公开(公告)日
:
2025-04-04
发明(设计)人
:
龙占勇
李东林
张健宁
申请人
:
拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司
申请人地址
:
510700 广东省广州市黄埔区瑞泰路2号
IPC主分类号
:
F27D15/02
IPC分类号
:
F27D7/02
F27D17/20
C30B31/00
代理机构
:
北京布瑞知识产权代理有限公司 11505
代理人
:
宗广静
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2025-04-04
授权
授权
共 50 条
[1]
一种扩散炉净化台冷却系统
[P].
林佳继
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林佳继
;
郭永胜
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郭永胜
;
刘群
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刘群
;
庞爱锁
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庞爱锁
;
林依婷
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林依婷
.
中国专利
:CN214244671U
,2021-09-21
[2]
一种舟托移载装置及扩散炉净化台
[P].
王树林
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机构:
浙江晶盛光子科技有限公司
浙江晶盛光子科技有限公司
王树林
;
黎忠文
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机构:
浙江晶盛光子科技有限公司
浙江晶盛光子科技有限公司
黎忠文
;
张才琪
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机构:
浙江晶盛光子科技有限公司
浙江晶盛光子科技有限公司
张才琪
.
中国专利
:CN221596406U
,2024-08-23
[3]
一种扩散炉净化台净化系统
[P].
刘群
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刘群
;
庞爱锁
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庞爱锁
;
林佳继
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林佳继
;
郭永胜
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郭永胜
;
林依婷
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林依婷
.
中国专利
:CN213242498U
,2021-05-18
[4]
扩散炉
[P].
郭世根
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郭世根
;
李亭亭
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李亭亭
;
蒋浩杰
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蒋浩杰
;
田光辉
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田光辉
;
项金娟
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项金娟
;
熊文娟
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熊文娟
.
中国专利
:CN114381807A
,2022-04-22
[5]
一种减压扩散炉净化台散热装置
[P].
吴志明
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吴志明
;
郭立
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郭立
;
赵志然
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赵志然
.
中国专利
:CN212082037U
,2020-12-04
[6]
炉门装置和扩散炉
[P].
曹炜博
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
曹炜博
;
廖宝臣
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江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
廖宝臣
;
陈云
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江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
陈云
;
陈程
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江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
陈程
;
种世平
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江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
种世平
;
张敏
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
张敏
;
安丽娟
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机构:
江苏微导纳米科技股份有限公司
江苏微导纳米科技股份有限公司
安丽娟
.
中国专利
:CN220489727U
,2024-02-13
[7]
一种扩散炉冷却装置
[P].
刘明利
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刘明利
;
李华
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李华
.
中国专利
:CN217520291U
,2022-09-30
[8]
一种开管扩散炉炉帽提醒装置
[P].
丁飞
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丁飞
;
陈建标
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陈建标
;
杨芳
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杨芳
.
中国专利
:CN214620690U
,2021-11-05
[9]
一种扩散炉用冷却装置
[P].
孟庆昌
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孟庆昌
;
赵海军
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赵海军
.
中国专利
:CN216745476U
,2022-06-14
[10]
一种扩散炉用冷却装置
[P].
刘明利
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刘明利
;
迟公超
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迟公超
;
于洋
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于洋
.
中国专利
:CN212806593U
,2021-03-26
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