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一种舟托移载装置及扩散炉净化台
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323649429.7
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN221596406U
公开(公告)日：
2024-08-23
发明(设计)人：
王树林
黎忠文
张才琪
申请人：
浙江晶盛光子科技有限公司
申请人地址：
311103 浙江省杭州市临平区经济技术开发区顺达路500号1幢105室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/67
C30B31/00
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
张志华
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-23 | 授权 | 授权 |