一种立式扩散炉托舟机构

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专利类型
实用新型
申请号
CN202420940635.9
申请日
2024-05-04
公开(公告)号
CN222509894U
公开(公告)日
2025-02-18
发明(设计)人
王普京 严明桃 朱建春 许鹏宇 周洋
申请人
江苏小牛自动化设备有限公司
申请人地址
224000 江苏省盐城市经济技术开发区黄浦江路88号
IPC主分类号
H10F71/00
IPC分类号
H01L21/677 H01L21/673 H01L21/67
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
江苏省 盐城市
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共 50 条
[1]
一种扩散炉用的石英舟 [P]. 
俞聪聪 .
中国专利 :CN213424947U ,2021-06-11
[2]
一种舟托输送装置及扩散炉 [P]. 
王树林 ;
黎忠文 ;
张才琪 .
中国专利 :CN221466551U ,2024-08-02
[3]
一种用于立式扩散炉的石英舟 [P]. 
高鹏 ;
刘阳 ;
罗奕 ;
张应红 ;
孙宁 ;
唐亮 ;
高波 ;
王岩 .
中国专利 :CN206225341U ,2017-06-06
[4]
一种扩散炉舟头 [P]. 
郭兴刚 ;
夏勇兵 ;
钱昆 ;
王秀鹏 .
中国专利 :CN203068974U ,2013-07-17
[5]
一种晶舟结构及扩散炉 [P]. 
喻泽锋 ;
孟宪宇 ;
吴宗祐 ;
吴孝哲 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN207781561U ,2018-08-28
[6]
一种舟托移载装置及扩散炉净化台 [P]. 
王树林 ;
黎忠文 ;
张才琪 .
中国专利 :CN221596406U ,2024-08-23
[7]
一种扩散炉石英舟的升降装置 [P]. 
周涛 .
中国专利 :CN213424957U ,2021-06-11
[8]
一种扩散石英舟托的装置 [P]. 
张岳琦 ;
朱皓杰 ;
秦臻 ;
邢军 ;
韩宜辰 .
中国专利 :CN220474578U ,2024-02-09
[9]
一种扩散炉石英舟结构 [P]. 
杨宝立 ;
周湘源 ;
张勇 .
中国专利 :CN205789905U ,2016-12-07
[10]
垂直扩散炉的舟 [P]. 
梁钟文 ;
权正焕 ;
金相云 ;
朴忠培 .
中国专利 :CN1109355C ,1997-07-30