一种晶舟结构及扩散炉

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721876078.5

申请日：

2017-12-28

公开(公告)号：

CN207781561U

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

喻泽锋孟宪宇吴宗祐吴孝哲林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-28	授权	授权

共 50 条

[1]

扩散炉内晶舟承载结构 [P].

文明岩 .

中国专利 :CN221344775U ,2024-07-16

[2]

晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉 [P].

高鹏飞 .

中国专利 :CN114438600A ,2022-05-06

[3]

晶舟底盘、晶舟和扩散炉 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

蒋浩杰 ;

项金娟 ;

丁云凌 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114361082A ,2022-04-15

[4]

一种用以装载晶圆的晶舟及扩散炉 [P].

谢峰 .

中国专利 :CN207503940U ,2018-06-15

[5]

一种扩散炉石英舟结构 [P].

杨宝立 ;

周湘源 ;

张勇 .

中国专利 :CN205789905U ,2016-12-07

[6]

一种扩散炉舟头 [P].

郭兴刚 ;

夏勇兵 ;

钱昆 ;

王秀鹏 .

中国专利 :CN203068974U ,2013-07-17

[7]

一种扩散炉用的石英舟 [P].

俞聪聪 .

中国专利 :CN213424947U ,2021-06-11

[8]

一种立式扩散炉托舟机构 [P].

王普京 ;

严明桃 ;

朱建春 ;

许鹏宇 ;

周洋 .

中国专利 :CN222509894U ,2025-02-18

[9]

一种扩散炉石英舟的升降装置 [P].

周涛 .

中国专利 :CN213424957U ,2021-06-11

[10]

一种舟托输送装置及扩散炉 [P].

王树林 ;

黎忠文 ;

张才琪 .

中国专利 :CN221466551U ,2024-08-02

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