晶舟结构和具有其的晶舟组件和扩散炉

被引：0

申请号：

CN202011228207.6

申请日：

2020-11-06

公开(公告)号：

CN114438600A

公开(公告)日：

2022-05-06

发明(设计)人：

高鹏飞

申请人：

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

C30B3114

IPC分类号：

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-24	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 31/14 申请日:20201106
2022-05-06	公开	公开

共 50 条

[1]

晶舟底盘、晶舟和扩散炉 [P].

郭世根 ;

李亭亭 ;

蒋浩杰 ;

项金娟 ;

丁云凌 ;

田光辉 .

中国专利 :CN114361082A ,2022-04-15

[2]

扩散炉内晶舟承载结构 [P].

文明岩 .

中国专利 :CN221344775U ,2024-07-16

[3]

一种晶舟结构及扩散炉 [P].

喻泽锋 ;

孟宪宇 ;

吴宗祐 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN207781561U ,2018-08-28

[4]

晶舟和炉管 [P].

沈建飞 ;

任瑞龙 .

中国专利 :CN202142511U ,2012-02-08

[5]

晶舟及扩散设备 [P].

曲凯 ;

史仁先 ;

鲁艳春 .

中国专利 :CN218414513U ,2023-01-31

[6]

晶舟以及扩散设备 [P].

曲凯 ;

史仁先 ;

鲁艳春 .

中国专利 :CN218471911U ,2023-02-10

[7]

石英舟、石英舟组件及扩散炉 [P].

谢毅 ;

周公庆 ;

马志强 ;

王璞 ;

陈坤 .

中国专利 :CN212610988U ,2021-02-26

[8]

垂直扩散炉的舟 [P].

梁钟文 ;

权正焕 ;

金相云 ;

朴忠培 .

中国专利 :CN1109355C ,1997-07-30

[9]

一种用以装载晶圆的晶舟及扩散炉 [P].

谢峰 .

中国专利 :CN207503940U ,2018-06-15

[10]

用于装载晶圆的晶舟 [P].

刘瑞 ;

魏晓光 ;

黄志涛 ;

李玲 ;

王耀华 ;

唐新灵 ;

焦倩倩 ;

高雅琦 ;

吴沛飞 .

中国专利 :CN222887854U ,2025-05-20

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