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晶舟及扩散设备
被引：0
申请号：
CN202222550938.3
申请日：
2022-09-26
公开(公告)号：
CN218414513U
公开(公告)日：
2023-01-31
发明(设计)人：
曲凯
史仁先
鲁艳春
申请人：
申请人地址：
536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司16幢三楼301室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240
代理人：
邢涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-01-31 | 授权 | 授权 |