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晶舟以及扩散设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202121198823.1
申请日：
2021-05-31
公开(公告)号：
CN215220674U
公开(公告)日：
2021-12-17
发明(设计)人：
蒋新和
任宏志
申请人：
申请人地址：
536000 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司16幢三楼301室
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
H01L2122
代理机构：
深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240
代理人：
邢涛
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-17 | 授权 | 授权 |