磁控溅射装置和磁控溅射设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202520136204.1

申请日：

2025-01-21

公开(公告)号：

CN222781674U

公开(公告)日：

2025-04-22

发明(设计)人：

陈伟鸿陈金亮苏孙杰

申请人：

宁德时代新能源科技股份有限公司

申请人地址：

352100 福建省宁德市蕉城区漳湾镇新港路2号

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

H01J37/34

代理机构：

北京市汉坤律师事务所 11602

代理人：

王其文;张涛

法律状态：

授权

国省代码：

福建省宁德市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-22	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射装置和磁控溅射设备 [P].

毛瑞锋 ;

金相起 ;

程贯杰 ;

李阳阳 ;

王宜申 .

中国专利 :CN206706198U ,2017-12-05

[2]

磁控溅射屏蔽罩和磁控溅射设备 [P].

赵鑫 ;

任明冲 ;

张林 ;

谷士斌 ;

王智坚 ;

赵冠超 ;

杨荣 ;

李立伟 ;

孟原 ;

郭铁 .

中国专利 :CN206188880U ,2017-05-24

[3]

磁控溅射设备及磁控溅射方法 [P].

张峰 ;

杜晓健 ;

辛旭 ;

李岩 .

中国专利 :CN104213089A ,2014-12-17

[4]

磁控溅射装置和磁控溅射方法 [P].

赤松泰彦 ;

中村久三 ;

小林大士 ;

清田淳也 ;

汤川富之 ;

武井应树 ;

大石祐一 ;

新井真 ;

石桥晓 .

中国专利 :CN101978094A ,2011-02-16

[5]

磁控溅射装置及磁控溅射设备 [P].

胡小波 ;

张晓军 ;

李佳小龙 ;

谢明辉 .

中国专利 :CN223561668U ,2025-11-18

[6]

磁控溅射装置、磁控溅射设备及磁控溅射的方法 [P].

田忠朋 ;

高雪伟 ;

肖磊 ;

杜建华 .

中国专利 :CN105803410B ,2016-07-27

[7]

磁控溅射装置及磁控溅射设备 [P].

胡小波 ;

张晓军 .

中国专利 :CN222182418U ,2024-12-17

[8]

磁控溅射组件、磁控溅射设备及磁控溅射方法 [P].

罗建恒 ;

杨帆 ;

耿宏伟 ;

李庆明 .

中国专利 :CN113699495A ,2021-11-26

[9]

磁控溅射组件、磁控溅射腔室及磁控溅射设备 [P].

杨玉杰 ;

丁培军 ;

张同文 .

中国专利 :CN108690961A ,2018-10-23

[10]

磁控溅射设备 [P].

赵鑫 ;

明星 ;

周伟峰 ;

张文余 ;

郭建 .

中国专利 :CN102206805B ,2011-10-05

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