一种HFCVD法高温制备大面积金刚石的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411839366.8

申请日：

2024-12-13

公开(公告)号：

CN119753621A

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

曹延新赵小玻王玉宝魏华阳刘明昭

申请人：

中材人工晶体研究院（山东）有限公司中国建材集团有限公司

申请人地址：

250200 山东省济南市章丘区官庄街道华民路517号中小企业转型发展示范园17号车间

IPC主分类号：

C23C16/27

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

深圳市育科知识产权代理有限公司 44509

代理人：

马廷玉

法律状态：

公开

国省代码：

山东省济南市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	公开	公开
2025-04-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/27申请日:20241213

共 50 条

[1]

一种大面积超高硬度金刚石膜的制备方法 [P].

刘金龙 ;

屠菊萍 ;

产思义 ;

安康 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

郑宇亭 ;

张建军 ;

欧阳晓平 ;

李成明 .

中国专利 :CN114717534A ,2022-07-08

[2]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN202643836U ,2013-01-02

[3]

一种大面积热丝CVD金刚石薄膜生长装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 .

中国专利 :CN207552442U ,2018-06-29

[4]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架及其制造方法 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN102634770A ,2012-08-15

[5]

大面积单晶金刚石的扩晶方法 [P].

杨珣 ;

张镇峰 ;

单崇新 .

中国专利 :CN119287501A ,2025-01-10

[6]

一种大尺寸的HFCVD金刚石膜材料制备方法 [P].

李荣臻 ;

魏华阳 ;

赵小玻 ;

刘明昭 ;

魏立 ;

李宏凯 ;

董新保 ;

王玉宝 ;

曹延新 ;

王晓玲 .

中国专利 :CN119753647A ,2025-04-04

[7]

纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺 [P].

顾长志 ;

金曾孙 .

中国专利 :CN1106455C ,2000-12-06

[8]

大面积光学质量合成多晶金刚石窗户 [P].

P·N·英格利斯 ;

J·R·布莱顿 ;

J·M·多德森 ;

T·P·莫拉特 .

中国专利 :CN104160061B ,2017-10-10

[9]

大面积的光学性能合成多晶金刚石窗口 [P].

P·N·英格利斯 ;

J·R·布莱顿 ;

J·M·多德森 ;

T·P·莫拉特 .

中国专利 :CN104220635A ,2014-12-17

[10]

一种生长大面积金刚石单晶的方法 [P].

王启亮 ;

李红东 ;

邹广田 ;

吕宪义 ;

成绍恒 ;

刘钧松 ;

高楠 ;

李柳暗 .

中国专利 :CN113529166B ,2021-10-22

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