一种大面积沉积金刚石膜的热丝架及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210138893.7

申请日：

2012-05-06

公开(公告)号：

CN102634770A

公开(公告)日：

2012-08-15

发明(设计)人：

魏俊俊李成明高旭辉黑立富吕反修

申请人：

申请人地址：

100088 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644 C23C1648

代理机构：

北京金智普华知识产权代理有限公司 11401

代理人：

皋吉甫

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-08-15	公开	公开
2012-10-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101332118295 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2012101388937 申请日:20120506
2015-08-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101719330867 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2012101388937 申请公布日:20120815

共 50 条

[1]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN202643836U ,2013-01-02

[2]

一种大面积热丝CVD金刚石薄膜生长装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 .

中国专利 :CN207552442U ,2018-06-29

[3]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

[4]

一种稳定生长大面积金刚石膜的热丝阵列电极系统 [P].

相炳坤 ;

左敦稳 ;

黎向锋 ;

徐锋 ;

卢文壮 ;

闫静 .

中国专利 :CN1831187A ,2006-09-13

[5]

一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈广超 .

中国专利 :CN1067119C ,1997-09-24

[6]

一种HFCVD法高温制备大面积金刚石的方法 [P].

曹延新 ;

赵小玻 ;

王玉宝 ;

魏华阳 ;

刘明昭 .

中国专利 :CN119753621A ,2025-04-04

[7]

一种大面积超高硬度金刚石膜的制备方法 [P].

刘金龙 ;

屠菊萍 ;

产思义 ;

安康 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 ;

郑宇亭 ;

张建军 ;

欧阳晓平 ;

李成明 .

中国专利 :CN114717534A ,2022-07-08

[8]

一种低温沉积大面积类金刚石薄膜的装置 [P].

钱锋 ;

林晶 ;

何光发 ;

杨海友 .

中国专利 :CN201756583U ,2011-03-09

[9]

纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料的生长工艺 [P].

顾长志 ;

金曾孙 .

中国专利 :CN1106455C ,2000-12-06

[10]

用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210134162U ,2020-03-10

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