光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00132595.7

申请日：

2000-11-30

公开(公告)号：

CN1355329A

公开(公告)日：

2002-06-26

发明(设计)人：

申家镜邵春雷彭鸿雁魏雪峰

申请人：

申请人地址：

157000黑龙江省牡丹江市光华街106－1号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1648

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-10-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2002-06-26	公开	公开
2005-03-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回

共 50 条

[1]

一种大面积热丝CVD金刚石薄膜生长装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 .

中国专利 :CN207552442U ,2018-06-29

[2]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN202643836U ,2013-01-02

[3]

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

申辉 ;

邵春雷 ;

张传胜 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355330A ,2002-06-26

[4]

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

孙方宏 ;

张文骅 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

沈荷生 .

中国专利 :CN102586762A ,2012-07-18

[5]

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206751918U ,2017-12-15

[6]

一种大面积沉积金刚石膜的热丝架及其制造方法 [P].

魏俊俊 ;

李成明 ;

高旭辉 ;

黑立富 ;

吕反修 .

中国专利 :CN102634770A ,2012-08-15

[7]

一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈广超 .

中国专利 :CN1067119C ,1997-09-24

[8]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN209522918U ,2019-10-22

[9]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN109371380A ,2019-02-22

[10]

一种生长大面积金刚石单晶的方法 [P].

王启亮 ;

李红东 ;

邹广田 ;

吕宪义 ;

成绍恒 ;

刘钧松 ;

高楠 ;

李柳暗 .

中国专利 :CN113529166B ,2021-10-22

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