一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720320037.1

申请日：

2017-03-30

公开(公告)号：

CN206751918U

公开(公告)日：

2017-12-15

发明(设计)人：

皮超杰徐国龙夏震

申请人：

申请人地址：

451191 河南省郑州市新郑市龙湖镇中原工学院大学科技园10号楼

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-19	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20170330 授权公告日:20171215 终止日期:20180330
2017-12-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 ;

杨兵 ;

翟超峰 ;

李俊豪 ;

贾心怡 .

中国专利 :CN205954105U ,2017-02-15

[2]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN109371380A ,2019-02-22

[3]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN209522918U ,2019-10-22

[4]

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈岩 ;

刘德义 ;

程新红 .

中国专利 :CN2283067Y ,1998-06-03

[5]

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

孙方宏 ;

张文骅 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

沈荷生 .

中国专利 :CN102586762A ,2012-07-18

[6]

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

申辉 ;

邵春雷 ;

张传胜 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355330A ,2002-06-26

[7]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810B ,2024-10-01

[8]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810A ,2020-03-31

[9]

一种大面积热丝CVD金刚石薄膜生长装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 .

中国专利 :CN207552442U ,2018-06-29

[10]

光子－热丝化学气相沉积生长大面积金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

邵春雷 ;

彭鸿雁 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355329A ,2002-06-26

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