一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911375199.5

申请日：

2019-12-27

公开(公告)号：

CN110938810A

公开(公告)日：

2020-03-31

发明(设计)人：

周检陈阿青

申请人：

申请人地址：

310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区下沙街道元成路211号

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20191227
2020-03-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于热丝化学气相沉积制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN110938810B ,2024-10-01

[2]

一种用于制备大尺寸金刚石薄膜的热丝支架 [P].

周检 ;

陈阿青 .

中国专利 :CN211771536U ,2020-10-27

[3]

一种热丝化学气相沉积金刚石薄膜的装置 [P].

皮超杰 ;

徐国龙 ;

夏震 .

中国专利 :CN206751918U ,2017-12-15

[4]

多元掺杂热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

孙方宏 ;

张文骅 ;

张志明 ;

郭松寿 ;

沈荷生 .

中国专利 :CN102586762A ,2012-07-18

[5]

回旋电子增强热丝化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法 [P].

申家镜 ;

申辉 ;

邵春雷 ;

张传胜 ;

魏雪峰 .

中国专利 :CN1355330A ,2002-06-26

[6]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN209522918U ,2019-10-22

[7]

一种多功能金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

刘鲁生 ;

姜辛 ;

黄楠 .

中国专利 :CN109371380A ,2019-02-22

[8]

一种热丝化学气相沉积金刚石的设备 [P].

闻立时 ;

黄荣芳 ;

陈岩 ;

刘德义 ;

程新红 .

中国专利 :CN2283067Y ,1998-06-03

[9]

一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置 [P].

姜辛 ;

刘鲁生 ;

黄楠 ;

杨兵 ;

翟超峰 ;

李俊豪 ;

贾心怡 .

中国专利 :CN205954105U ,2017-02-15

[10]

一种热丝化学气相沉积法制备金刚石时的热丝预紧装置 [P].

马骏 ;

曾祥才 ;

姚毅 ;

范云贵 ;

李波涛 .

中国专利 :CN221588678U ,2024-08-23

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